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目前生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的主流工藝介紹d
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什么是電子級(jí)多晶硅？
電子級(jí)多晶硅是一種高純度的多晶硅材料，在電子信息、半導(dǎo)體等高科技領(lǐng)域有著重要應(yīng)用，以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹：
純度及性能特點(diǎn)
超高純度：電子級(jí)多晶硅一般要求含硅量＞99.9999% 以上，超高純的可達(dá)到 99.9999999%-99.999999999%（9N-11N），其純度遠(yuǎn)高于太陽能級(jí)多晶硅，雜質(zhì)含量極低，這是其能夠用于高端電子器件制造的關(guān)鍵因素之一。
優(yōu)良的電學(xué)性能：具有合適的導(dǎo)電性，其導(dǎo)電性介于 10⁻⁴-10¹⁰歐厘米之間，能夠滿足半導(dǎo)體器件對(duì)材料電學(xué)性能的嚴(yán)格要求，確保電子元件的正常運(yùn)行和高性能表現(xiàn)。
生產(chǎn)工藝
改良西門子法：是目前生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的主流工藝之一。該方法先由氯化氫和工業(yè)硅粉反應(yīng)生成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅 。通過這種方法生產(chǎn)的多晶硅純度較高，且工藝相對(duì)成熟、穩(wěn)定，能夠滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求，但也存在還原率低、副產(chǎn)品多、能耗高等缺點(diǎn)。
硅烷法：通過硅烷熱分解來制備多晶硅。先采用硅合金分解法、氫化物還原法等制取硅烷氣，再將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐中生產(chǎn)純度較高的棒狀多晶硅。硅烷法生產(chǎn)的多晶硅純度高，尤其適用于生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，但由于硅烷的易燃易爆性，生產(chǎn)過程中對(duì)安全措施要求極高。
電子級(jí)多晶硅是一種高純度的多晶硅材料，在電子信息、半導(dǎo)體等高科技領(lǐng)域有著重要應(yīng)用，以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹：
純度及性能特點(diǎn)
超高純度：電子級(jí)多晶硅一般要求含硅量＞99.9999% 以上，超高純的可達(dá)到 99.9999999%-99.999999999%（9N-11N），其純度遠(yuǎn)高于太陽能級(jí)多晶硅，雜質(zhì)含量極低，這是其能夠用于高端電子器件制造的關(guān)鍵因素之一。
優(yōu)良的電學(xué)性能：具有合適的導(dǎo)電性，其導(dǎo)電性介于 10⁻⁴-10¹⁰歐厘米之間，能夠滿足半導(dǎo)體器件對(duì)材料電學(xué)性能的嚴(yán)格要求，確保電子元件的正常運(yùn)行和高性能表現(xiàn)。
生產(chǎn)工藝
改良西門子法：是目前生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的主流工藝之一。該方法先由氯化氫和工業(yè)硅粉反應(yīng)生成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅 。通過這種方法生產(chǎn)的多晶硅純度較高，且工藝相對(duì)成熟、穩(wěn)定，能夠滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求，但也存在還原率低、副產(chǎn)品多、能耗高等缺點(diǎn)。
硅烷法：通過硅烷熱分解來制備多晶硅。先采用硅合金分解法、氫化物還原法等制取硅烷氣，再將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐中生產(chǎn)純度較高的棒狀多晶硅。硅烷法生產(chǎn)的多晶硅純度高，尤其適用于生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，但由于硅烷的易燃易爆性，生產(chǎn)過程中對(duì)安全措施要求極高。
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